惰性气体注入装置及惰性气体注入方法

摘要

本发明提供惰性气体注入装置及惰性气体注入方法。一种保管架用的惰性气体注入装置，在没有指示停止无效指令的通常停止状态下，在检测到检查门的打开状态的情况下，停止对容器供给惰性气体，在指示了停止无效指令的停止无效状态下，在检测到检查门的打开状态的情况下，继续基于之前供给模型的惰性气体的供给，并且禁止利用人为操作来变更确定之前供给模型的参数。

主权项

一种惰性气体注入装置，包括：保管架，设置于与外部划分形成的保管空间内，并包括收纳用于收纳基板的容器的收纳部；和注入部，以能够在收纳于上述收纳部的状态下使容器内的气体从排气口向上述保管空间内排出的上述容器为对象，将惰性气体从上述容器的供气口注入到上述容器的内部；其特征在于，该惰性气体注入装置包括：注入控制部，根据由预先设定的参数确定的供给模型，来控制上述注入部的动作从而控制对上述容器的惰性气体的供给；检查门开闭检测部，检测用于供作业人员出入上述保管空间内的检查门的开闭状态；以及人为操作式的停止无效指令部，用于指示停止无效指令，上述注入控制部构成为，在没有从上述停止无效指令部指示上述停止无效指令的状态即通常停止状态下，在由上述检查门开闭检测部检测到上述检查门的打开状态的情况下，中止基于之前供给模型的惰性气体的供给控制，停止对上述容器供给惰性气体，上述之前供给模型是在检测到上述检查门的打开状态之前执行的上述供给模型，在从上述停止无效指令部指示了上述停止无效指令的状态即停止无效状态下，在由上述检查门开闭检测部检测到上述检查门的打开状态的情况下，继续基于上述之前供给模型的惰性气体的供给，并且禁止利用人为操作来变更确定上述之前供给模型的参数。