用于MEMS设备的悬浮无源元件

摘要

一种以减少或消除应变从基板至结构，或者应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变的传递方式，来机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦。该技术包括使用嵌入至传导结构材料中的电绝缘材料以用于机械地耦合和电绝缘。一种装置包括MEMS设备，该MEMS设备包括第一电极和第二电极以及从MEMS设备的基板悬浮的主体。主体和第一电极形成第一静电变换器。主体和第二电极形成第二静电变换器。所述装置包括机械地耦合至主体并与主体电隔离的悬浮无源元件。

主权项

一种装置，该装置包括：微电子机械系统MEMS设备，该MEMS设备包括：第一电极和第二电极；及从所述MEMS设备的基板悬浮的主体，该主体和所述第一电极形成第一静电变换器，并且所述主体和所述第二电极形成第二静电变换器；以及悬浮无源元件，机械地耦合至所述主体并与所述主体电隔离。