Heater for semiconductor chamber

摘要

본 고안은 반도체 챔버의 외부 상측을 가열하기 위한 반도체 챔버용 히터에 관한 것이다. 반도체 제작 공정용 챔버의 내부 온도를 조절하기 위한 히터박스의 내부에 장착되는 히터에 있어서, 니켈크롬으로 형성된 발열체, 발열체의 외측을 감싸는 절연체, 절연체의 외측을 감싸는 서스, 니켈크롬에 전기를 공급하기 위해 니켈로 형성된 전원선이 구비된 히터코일을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.