ペリクル枠体及びペリクル,申请号JP20120158142-传众专利搜索

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发明名称	ペリクル枠体及びペリクル
摘要
申请公布号	JP5647189(B2)	申请公布日期	2014.12.24
申请号	JP20120158142	申请日期	2012.07.13
申请人		发明人
分类号	G03F1/64;H01L21/027	主分类号	G03F1/64
代理机构		代理人
主权项
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