一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法

摘要

本发明公开了一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法，通过研究行星转动夹具上镀膜元件的运动规律，设计专用圆环形直接光控测试片和镀膜夹具；在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置，并通过控制背景噪声、光强度以及信号测量位置，获得随薄膜厚度变化的光学信号，并据此计算实际沉积的膜层厚度。本发明可以实现镀膜机行星转动夹具上平面或者球面镜片上薄膜厚度的直接光学控制，提高行星转动镀膜机薄膜厚度控制的准确度以及复杂膜系的镀膜效率。

主权项

一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法，其特征在于实现步骤如下：步骤(1)、根据行星转动夹具上镀膜元件的运动规律，设计专用圆环形直接光控测试片和特殊镀膜夹具；特殊镀膜夹具包括光控测试片安装夹具和防止蒸发、溅射薄膜材料绕射的屏蔽罩；光控测试片夹具安装在行星转动夹具的中心位置，圆环形光控测试片固定在光控测试片夹具上，屏蔽罩安装在圆环形测试片上方；步骤(2)、在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置，具体为：光收集聚焦透镜固定在真空室壁上，透镜光轴与光控测试片表面近似垂直；光源位于透镜光轴上，并安装在静止的膜厚均匀性修正挡板背面；聚焦透镜和光源分别位于光学测试片的两面；调整圆环形光控测试片的大小，使光轴通过圆环的中心圆弧；并保证行星转动过程中，光斑在圆环上保持一定的时间；步骤(3)、通过控制背景噪声、光学总强度以及信号测量位置，获得特定波长位置处随薄膜厚度变化的光学信号；背景噪声I_d在不透光的行星转动夹具和光轴相交时测量一定时间并取平均值；光学总强度I₀在所有行星转动夹具和光轴不相交时测量一定时间并取平均值；信号强度I为圆环形光学测试片和光轴相交并且光斑完全处于光学测试片的时间段内测量并取平均值；该波长位置处光控测试片上薄膜的透射率为：T＝100％*(I‑I_d)/(I₀‑I_d)步骤(4)、光学信号通过聚焦透镜收集并通过光纤传入光电探测器，光电探测器输出信号送入计算机进行数据分析与处理；通过特定波长光学信号的计算与分析，获得实际沉积的膜层厚度，并实现镀膜过程薄膜厚度的实时监控。