一种用于放置硅片的环形花篮

摘要

本发明提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的方形花篮存在较多的死角，造成清洗硅片不干净的问题，包括内圆管和外圆管，所述内圆管的外侧壁上设有外卡槽，所述外圆管的内侧壁上设有内卡槽，所述内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；所述内圆管上开设有内通槽，每个外卡槽顶部均与内圆管的上端相通，每个外卡槽的底部均不与内圆管底端相通；所述外圆管上开设有通槽，每个内卡槽顶部均与外圆管的上端相通，每个内卡槽的底部均不与外圆管的底端相通。本发明中的花篮为环形，不存在死角，便于冲洗清干净，提高了清洗时的工作效率，也有利于后序通过旋转甩出硅片上的部分水分，便于干燥。

主权项

一种用于放置硅片的环形花篮，其特征是：包括同轴的内圆管(1)和外圆管(2)，所述内圆管(1)的外侧壁上设有外卡槽(11)，所述外圆管(2)的内侧壁上设有与外卡槽(11)一一对应且与外卡槽(11)配合放置硅片的内卡槽(21)，所述内圆管(1)底部和外圆管(2)的底部之间固连有杆(3)；所述内圆管(1)上开设有用于连通外卡槽(11)与内圆管(1)内部且与外卡槽(11)一一对应的内通槽(12)，每个外卡槽(11)顶部均与内圆管(1)的上端相通，每个外卡槽(11)的底部均不与内圆管(1)底端相通；所述外圆管(2)上开设有用于连通内卡槽(21)与外圆管(2)外部且与内卡槽(21)一一对应的外通槽(22)，每个内卡槽(21)顶部均与外圆管(2)的上端相通，每个内卡槽(21)的底部均不与外圆管(2)的底端相通。