一种可拆卸原位热处理装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种可拆卸原位热处理装置，包括一能够进行加热的加热本体，加热本体内具有放置样品的空腔，加热本体上设置有与所述空腔相连通的第一驳接接头，第一驳接接头的接口能够与其他设备可拆卸连接，第一驳接接头上设置有用于隔断和开启与所述空腔连通的第一阀门。该可拆卸原位热处理装置能够实现与其他工艺设备的可拆卸连接，连接方式灵活方便，避免了材料样品或产品在由制备环境转移至热处理环境的过程中暴露于空气环境，从而造成污染及损坏。本发明还涉及一种可拆卸原位热处理装置的使用方法，能实现一台制备或者检测装置与多个可拆卸原位热处理装置的配合使用，提高了制备装置的利用率，降低了设备成本。

主权项

一种可拆卸原位热处理装置，包括一能够进行加热的加热本体(1)，所述加热本体(1)内具有放置样品的空腔(11)，其特征在于：所述加热本体(1)上设置有与所述空腔(11)相连通的第一驳接接头(12)，所述第一驳接接头(12)上具有能够与其他设备可拆卸连接的快速连接接口(121)，所述第一驳接接头(12)上设置有用于隔断和开启与所述空腔(11)连通的第一阀门(13)。