一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪

摘要

本发明公开了一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；本发明为减小温度和应力对整个微陀螺的影响，采用了完全相同的两个子结构，两个子结构左右对称布置，运动方式为x-y平面内的线运动；采用子结构连接装置，使左右两个子结构成为一个整体，保证了左右两个子结构运动频率的一致性，且子结构连接装置的设计保证了驱动运动和检测运动的隔离，实现了结构运动的全解耦；子结构连接装置保证了陀螺仪驱动运动和检测运动时两个子结构的驱动部分和检测部分分别为相向的线运动。

主权项

一种基于柔性连接的双质量解耦硅微陀螺仪，其特征在于，包括设有电信号引出线的基座和置于基座上的微陀螺机械结构层；微陀螺机械结构层包括第一子结构、第二子结构和子结构连接装置，第一子结构和第二子结构通过子结构连接装置连接；第一子结构和第二子结构为结构相同的角速度测量子结构，所述的角速度测量子结构为轴对称结构，包括质量块、驱动机构、检测机构和子结构固定基座；驱动机构有两个，分别设在质量块的上下两端、并分别通过固接U型折叠梁与质量块的上下两端连接；检测机构有四个，其中两个设在质量块上端的左右两侧、并分别通过固接U型折叠梁与质量块上端的左右两侧连接，另外两个设在质量块下端的左右两侧、并分别通过固接U型折叠梁与质量块下端的左右两侧连接；驱动机构和检测机构均通过固定基座固定在基座上。