摘要 |
Lichtweichen (1) zum einstellbaren Ablenken eines Lichtstrahls (L) aus Richtung einer Eingangsstelle (2) in Richtung einer von mehreren Ausgangsstellen (3) mit einem drehbaren Schaltspiegel (4) sind empfindlich gegenüber Veränderungen der Umgebungsbedingungen, beispielsweise Temperaturschwankungen, weil der Lichtstrahl dann unter Umständen nicht vollständig oder schräg auf den betreffenden Ausgang trifft, was Intensitätsverluste und insbesondere Intensitätsschwankungen verursachen kann. Schwankungen können aufgrund von Ein- und Ausschwingvorgängen auch während des Umschaltvorgangs auftreten und diesen effektiv verlängern. Ziel ist es, eine schnellere und genauere Umschaltung zu ermöglichen. Zu diesem Zweck umfasst die verbesserte Lichtweiche (1) einen drehbaren Fangspiegel (5), zwei Strahlteiler (6, 7) und zwei ortsauflösende Detektoren (8, 9), wobei beide Spiegel (4, 5) um zwei jeweilige Achsen drehbar sind und der vordere Strahlteiler (7) zur teilweisen Auskopplung des Lichtstrahls (L) auf den vorderen Detektor (9) optisch zwischen dem Fangspiegel (5) und dem Schaltspiegel (4) angeordnet ist und der hintere Strahlteiler (6) zur teilweisen Auskopplung des Lichtstrahls (L) auf den hinteren Detektor (8) optisch zwischen dem Schaltspiegel (4) und jeder der Ausgangsstellen (3) angeordnet ist und die Steuereinheit (10) dazu eingerichtet ist, den Antrieb (4A) des Schaltspiegels (4) anhand eines Signals des hinteren Detektors (8) zu regeln. Die Hintereinanderschaltung zweier zweiachsig einstellbarer Spiegel erlaubt das zweistufige Kompensieren von Fehlern in Ort und Richtung des eingehenden Lichtstrahls und dadurch das hochgenaue Ablenken in eine vorgegebene Richtung und das Stabilisieren des Lichtstrahls auf diese Richtung. Mikroskopie |