发明名称 Schnell und genau schaltende Lichtweiche und Strahlstabilisierungsvorrichtung
摘要 Lichtweichen (1) zum einstellbaren Ablenken eines Lichtstrahls (L) aus Richtung einer Eingangsstelle (2) in Richtung einer von mehreren Ausgangsstellen (3) mit einem drehbaren Schaltspiegel (4) sind empfindlich gegenüber Veränderungen der Umgebungsbedingungen, beispielsweise Temperaturschwankungen, weil der Lichtstrahl dann unter Umständen nicht vollständig oder schräg auf den betreffenden Ausgang trifft, was Intensitätsverluste und insbesondere Intensitätsschwankungen verursachen kann. Schwankungen können aufgrund von Ein- und Ausschwingvorgängen auch während des Umschaltvorgangs auftreten und diesen effektiv verlängern. Ziel ist es, eine schnellere und genauere Umschaltung zu ermöglichen. Zu diesem Zweck umfasst die verbesserte Lichtweiche (1) einen drehbaren Fangspiegel (5), zwei Strahlteiler (6, 7) und zwei ortsauflösende Detektoren (8, 9), wobei beide Spiegel (4, 5) um zwei jeweilige Achsen drehbar sind und der vordere Strahlteiler (7) zur teilweisen Auskopplung des Lichtstrahls (L) auf den vorderen Detektor (9) optisch zwischen dem Fangspiegel (5) und dem Schaltspiegel (4) angeordnet ist und der hintere Strahlteiler (6) zur teilweisen Auskopplung des Lichtstrahls (L) auf den hinteren Detektor (8) optisch zwischen dem Schaltspiegel (4) und jeder der Ausgangsstellen (3) angeordnet ist und die Steuereinheit (10) dazu eingerichtet ist, den Antrieb (4A) des Schaltspiegels (4) anhand eines Signals des hinteren Detektors (8) zu regeln. Die Hintereinanderschaltung zweier zweiachsig einstellbarer Spiegel erlaubt das zweistufige Kompensieren von Fehlern in Ort und Richtung des eingehenden Lichtstrahls und dadurch das hochgenaue Ablenken in eine vorgegebene Richtung und das Stabilisieren des Lichtstrahls auf diese Richtung. Mikroskopie
申请公布号 DE102013010731(A1) 申请公布日期 2014.12.24
申请号 DE20131010731 申请日期 2013.06.24
申请人 CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 发明人 WILHELM, STEFAN;STUTZ, MICHEL
分类号 G02B26/08;G02B21/24;G02B27/10 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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