一种氮气封装氮化镓半导体处理罐

摘要

本实用新型公开了一种氮气封装氮化镓半导体处理罐，包括氮气室与氮气罐，氮气室的内顶部设有管道，氮气室的内底部设有载物板，载物板上设有若干并排布置的封装管，封装管的端部设有封装口，管道的下方设有若干并排布置的导气管，导气管的下端设有导气口，导气口与封装口对接，氮气罐与管道连接，氮气室的顶部设有导向管，管道的顶部设有升降管，升降管套装在导向管内，导向管的侧壁设有旋转轮，旋转轮与升降管通过螺纹连接。本实用新型提供氮气充足，封装氮化镓半导体速度快，效率高，且工艺简单。

主权项

一种氮气封装氮化镓半导体处理罐，包括氮气室与氮气罐，氮气室的内顶部设有管道，管道呈水平布置，其特征在于：氮气室的内底部设有载物板，载物板的底部设有轮子，轮子设置在氮气室的内底部上，载物板上设有若干并排布置的封装管，封装管的端部设有封装口，管道的下方设有若干并排布置的导气管，导气管的下端设有导气口，导气口与封装口对接，氮气罐与管道通过输气硬管连接，输气硬管与管道通过输气软管连接，输气软管的端部设有输气球，输气球的表面为镂空结构，输气球设置在管道内，氮气室的顶部设有导向管，管道的顶部设有升降管，升降管套装在导向管内，导向管的侧壁设有旋转轮，旋转轮为外螺纹轮，升降管的外表面设有外螺纹，旋转轮与升降管通过螺纹连接，旋转轮连接有摇柄，旋转轮通过固定杆与导向管的两端连接。