| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Interferometer mit einer Lichtquelle, einem Strahlteiler, einem Messreflektor, einem Referenz-Retroreflektor, einer Detektoranordnung sowie zwei transparenten Planplatten. Der Strahlteiler spaltet ein von der Lichtquelle emittiertes erstes Strahlenbündel in mindestens ein Messstrahlenbündel und mindestens ein Referenzstrahlenbündel auf, über die eine erste Aufspaltebene aufgespannt wird. Bis zur Wiedervereinigung an einem Vereinigungsort in einer ersten Vereinigungsebene propagieren das Messstrahlenbündel in einem Messarm und das Referenzstrahlenbündel in einem Referenzarm. Die erste Vereinigungsebene ist parallel zur ersten Aufspaltebene orientiert. Der Messreflektor, auf den das Messstrahlenbündel mindestens zweimal senkrecht einfällt, ist im Messarm angeordnet und mit einem entlang einer Messrichtung beweglichen Messobjekt verbunden. Der Referenz-Retroreflektor, auf den das Referenzstrahlenbündel mindestens einmal einfällt, ist im Referenzarm angeordnet. Über die Detektoranordnung ist mindestens ein erstes Abstandssignal aus den am Vereinigungsort überlagerten interferierenden Mess- und Referenzstrahlenbündeln bezüglich der Position des Messobjekts erfassbar. Die erste transparente Planplatte und die zweite transparente Planplatte sind parallel zueinander im Strahlengang zwischen der Lichtquelle und der Detektoranordnung angeordnet. In der ersten Planplatte ist der Referenz-Retroreflektor ausgebildet und auf der zweiten Planplatte ist der Strahlteiler angeordnet</p> |
