| 发明名称 |
透明导电膜及其制造方法 |
| 摘要 |
本发明是提供一种透明导电膜及其制造方法。而此透明导电膜系含有镁；选自由碳、矽及硼所成群组中之至少一种元素(A)；氧：与氢之膜。此透明导电膜可藉由例如，使用含有镁之靶；与含有选自由碳、矽及硼所成群组中之至少1种元素(A)之靶，在基板上使含有镁与该元素(A)之膜成膜后，将该膜保持在含有水的环境中而制造。 |
| 申请公布号 |
TWI466136 |
申请公布日期 |
2014.12.21 |
| 申请号 |
TW097139319 |
申请日期 |
2008.10.14 |
| 申请人 |
久慈俊郎 日本 |
发明人 |
久慈俊郎;千叶雅史;本城贵充;小户田小一郎 |
| 分类号 |
H01B1/08;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/58 |
主分类号 |
H01B1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种透明导电膜，系含有镁与碳之原子比例(镁/碳)为0.3至20的镁与碳、氧及氢。 |
| 地址 |
日本 |
