| 主权项 |
一种原子层沈积装置其包含：一装载/卸载模组，其用于装载/卸载一基板；一处理模组，其包括用于同时收纳复数个基板且执行一沈积制程的复数个处理腔室，该复数个处理腔室中之每一者包括一具有一排气部分之气体喷射单元，藉由该排气部分自该处理腔室内部吸入一排放气体且在该处理腔室上方排出该所吸入之气体；及一转移模组，其包括一设置于该装载/卸载模组与该处理模组之间的转移机器人，该转移机器人适于在传送该基板的同时固持该复数个基板；其中：该转移机器人包括各自用于固持该等基板中之一单片基板之复数个操作臂，其具有：形式为一C形或一ㄈ形之顶端部分，每一操作臂具有一预定宽度且横穿该基板之一中央部分以储存一基板；若干驱动臂，用以驱动该等操作臂来直线移动、旋转移动以及垂直移动；及一驱动部分；其中该等驱动臂及该驱动部支持该等进行旋转移动之操作臂，且其构形可供应及传输用来驱动该等操作臂所需之一驱动功率；该装载/卸载模组包括一储存有该复数个基板之装载口、及一缓冲器；该缓冲器配置于与该装载口未连接之该转移模组之一侧，且用以储存复数个基板，且配置于用于该转移机器人之该转移模组之一侧，以传送该缓冲器中之若干基板；该缓冲器所提供之若干基板的数目与所缺少的若干基板之一数目相同；该所缺少的若干基板系发生在当装载用于储存于该装置口内之若干基板之一数目之该基板、及收纳于该处理腔室中之基板的数目彼此成倍数关系时。 |
