用于测试电测试样本之电测试设备及电测试方法

摘要

本发明系有关于一种用于测试电测试样本之电测试设备其包含一导体基板，该基板透过一接点间距转换器被电连接至一测试头，其中该导体基板被机械地连接至一第一补强(stiffening)装置并因而被补强。至少一个穿透该导体基板(12)的间隔件(30)被机械地连接至该接点间距转换器(7)且透过倾斜调整机构(34)被保持在该第一补强装置(26)上。

主权项

一种用来电测试一电测试样本的电测试设备(1)，该电测试设备包含一导体基板(12)其透过一接点间距转换器(7)被电连接至一测试头(2)，其中该导体基板(12)被机械式地连接至一第一补强装置(26)且被该第一补强装置强化，其中多个间隔件(30)被机械式地连接至该接点间距转换器(7)且透过倾斜调整机构(34)被保持在该第一补强装置(26)上，该等间隔件(30)彼此间隔开来、穿透该导体基板(12)且被建构成有螺纹的螺钉(60)，其中每一有螺纹的螺钉(60)的柄(64)穿过该导体基板(12)的一各别的引导孔(48)且尚有多余的空间，并啮合于该第一补强装置(26)上各别的插孔(65)中，其中每一插孔(65)具有一设置有内螺纹的大直径的区段(66)、一与该大直径区段邻接直径较小且无螺纹的区段(67)、及一直径更小且亦无螺纹的区段(68)，其中该区段(68)具有相对于该有螺纹的螺钉(60)的柄(64)的间隙(play)，其中一螺帽(69)被旋套至该有螺纹的螺钉(60)的螺纹上，该螺帽(69)用一凸缘(70)抵靠一级阶(71’)来停放，该级阶(71’)被设置在区段(66)与(67)之间，其中一螺环(71)被设置在该凸缘(70)的另一侧上，该螺环(71)具有外螺纹(72)，该外螺纹被旋入到该区段(66)的内螺纹中，及其中在被旋上的情况中，该螺环(71)将该螺帽(69)压靠该级阶(71’)，该电测试设备(1)更包含：一第二补强装置(27)，其中该第一补强装置(26)被设置在该导体基板(12)的一侧上及该第二补强装置(27)被设置在该导体基板(12)的另一侧上，其中该接点间距转换器(7)被分配给该第二补强装置(27)，其中该第二补强装置(27)具有一容纳穿孔(29)，该接点间距转换器(7)被至少部分地容纳在该容纳穿孔中且没有实体接触，其中该等有螺纹的螺钉(60)具有头(61)，其藉由将该等有螺纹的螺钉(60)旋入到该接点间距转换器(7)的螺孔(63)内而稳稳地平躺在该接点间距转换器(7)的插孔(62)内。