发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung optischer Schichteigenschaften an flexiblen Substraten
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung optischer Eigenschaften flexibler Substrate mit mindestens einer Walze, wobei das Substrat in Kontakt mit mindestens einer Walzenoberfläche ist sowie zumindest einer Messeinrichtung und einer Auswerteeinrichtung mit der die Reflexion und Transmission gemessen wird. Die Aufgabe der Erfindung ist es, die erschwerte Auswertung von Messsignalen an hochreflektierenden Walzen zu beheben. Die Aufgabe wird vorrichtungs- und verfahrensseitig dadurch gelöst, dass eine Walzenoberfläche auf ihrem Umfang ein erstes Segment mit einem ersten Reflexionswert und ein zweites Segment mit einem zweiten Reflexionswert aufweist, wobei das erste Segment und das zweite Segment auf dem Umfang der Walzenoberfläche nebeneinander abwechselnd angeordnet sind. Es wird ein erster Reflexionswert in einem ersten Segment der Walzenoberfläche und ein zweiter Reflexionswert in einem zweiten Segment der Walzenoberfläche bestimmt, wobei das erste und das zweite Segment der Walzenoberfläche unterschiedliche Reflexionswerte aufweisen.
申请公布号 DE102013106225(A1) 申请公布日期 2014.12.18
申请号 DE201310106225 申请日期 2013.06.14
申请人 VON ARDENNE GMBH 发明人 PRÖHL, HOLGER;LIESS, UDO
分类号 G01N21/55;C23C14/52;G01N21/59 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
主权项
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