垂直集積のためのスタックビア

摘要

本開示は、ビア構造のためのシステム、方法、および装置を提供する。一態様では、装置は、基板と、基板の表面上の第１の電気機械システムデバイスとを含む。第１の電気機械システムデバイスは、第１の金属層と第２の金属層とを含む。第１のビア構造が、基板の表面上に含まれ得る。第１のビア構造は、第１の金属層と、第２の金属層と、第３の金属層とを含む。第１の電気機械システムデバイスの第１の金属層は、第１のビア構造の第１の金属層と同じ金属層であり得る。