| 发明名称 | ZnO基溅射靶和具有使用该溅射靶沉积的钝化层的光伏电池 | ||
| 摘要 | 本申请公开了适用于DC溅射的氧化锌(ZnO)基溅射靶以及具有使用该溅射靶沉积的钝化层的光伏电池。该ZnO基溅射靶包括由ZnO制造的烧结体和背板，该ZnO掺杂有10wt％至60wt％的氧化镓，该背板结合于该烧结体的后表面以支撑该烧结体。上述钝化层可防止光吸收层的组成变化降低效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104213084A | 申请公布日期 | 2014.12.17 |
| 申请号 | CN201410232028.8 | 申请日期 | 2014.05.28 |
| 申请人 | 三星康宁先进玻璃有限责任公司 | 发明人 | 李伦圭;高榥庸;朴柱玉;徐寿莹 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种氧化锌基溅射靶，包括：烧结体，所述烧结体包含氧化锌，所述氧化锌掺杂有基于所述烧结体重量的10wt％至60wt％的氧化镓；和背板，所述背板结合于所述烧结体的后表面以支撑所述烧结体。 | ||
| 地址 | 韩国忠淸南道 | ||