纳米研磨机的高精度机械密封结构

摘要

本实用新型涉及一种纳米研磨机的高精度机械密封结构，包括主轴、机封座、端盖、压环、外静环、外动环、内静环、内动环、内衬套、内冷却流道、外冷却流道，所述机封座内壁通过隔边将内壁分为两个凹槽：上部的压环固定槽和下部的内静环安装槽，内静环安装槽的外缘还设有密封圈安装槽；所述端盖底部也设有隔边，隔边上部设有外静环安装槽，所述内冷却流道和外冷却流道之间设有一定的间隙，内冷却流道的外壁和外冷却流道的内壁均为带有斜度的错列型齿结构，内冷却流道内侧设有内衬套，外冷却流道外设有压环。本实用新型在旋转过程中润滑流动液体流向保持与研磨介质方向相反的逆向流动，最大程度上减小研磨介质进入主轴的概率，达到排除杂质的目的。

主权项

纳米研磨机的高精度机械密封结构，其特征在于，包括主轴、机封座、端盖、压环、外静环、外动环、内静环、内动环、内衬套、内冷却流道、外冷却流道，所述机封座内壁通过隔边将内壁分为两个凹槽：上部的压环固定槽和下部的内静环安装槽，压环固定槽内设有压环，内静环安装槽内设有内静环，内静环安装槽的外缘还设有密封圈安装槽；隔边上设有插销孔，插销孔内装有插销，所述端盖底部也设有隔边，隔边上部设有外静环安装槽，外静环安装槽内设有外静环，隔边上设有插销孔；所述内冷却流道和外冷却流道之间设有一定的间隙，内冷却流道的外壁和外冷却流道的内壁均为带有斜度的错列型齿结构，内冷却流道内侧设有内衬套，外冷却流道外设有压环。