发明名称 |
铝合金的表面合金化工艺 |
摘要 |
一种铝合金的表面合金化工艺,包括如下步骤:(1)基体试样预处理;(2)将基片放入气相沉积设备中,加热下通入少量氢气;(3)开启水浴加热,通入氮气,保温;(4)打开TiCl<sub>4</sub>流量计,并通入载气沉积TiN涂层;(5)停止通入氮气和TiCl<sub>4</sub>,降温;(6)停止通入氢气,降至常温后出炉。本发明制得的涂层表面平整,致密度大,涂层硬度高,抗弯强度大,具有优异的综合性能。 |
申请公布号 |
CN104213097A |
申请公布日期 |
2014.12.17 |
申请号 |
CN201410472958.0 |
申请日期 |
2014.09.16 |
申请人 |
朱忠良 |
发明人 |
朱忠良 |
分类号 |
C23C16/34(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/34(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
潘登 |
主权项 |
一种铝合金的表面合金化工艺,包括如下步骤:(1)基体试样预处理;(2)将基片放入气相沉积设备中,加热下通入少量氢气;(3)开启水浴加热,通入氮气,保温;(4)打开TiCl<sub>4</sub>流量计,并通入载气沉积TiN涂层;(5)停止通入氮气和TiCl<sub>4</sub>,降温;(6)停止通入氢气,降至常温后出炉。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇人民路居委红和新村100号 |