发明名称 铝合金的表面合金化工艺
摘要 一种铝合金的表面合金化工艺,包括如下步骤:(1)基体试样预处理;(2)将基片放入气相沉积设备中,加热下通入少量氢气;(3)开启水浴加热,通入氮气,保温;(4)打开TiCl<sub>4</sub>流量计,并通入载气沉积TiN涂层;(5)停止通入氮气和TiCl<sub>4</sub>,降温;(6)停止通入氢气,降至常温后出炉。本发明制得的涂层表面平整,致密度大,涂层硬度高,抗弯强度大,具有优异的综合性能。
申请公布号 CN104213097A 申请公布日期 2014.12.17
申请号 CN201410472958.0 申请日期 2014.09.16
申请人 朱忠良 发明人 朱忠良
分类号 C23C16/34(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 主分类号 C23C16/34(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 潘登
主权项 一种铝合金的表面合金化工艺,包括如下步骤:(1)基体试样预处理;(2)将基片放入气相沉积设备中,加热下通入少量氢气;(3)开启水浴加热,通入氮气,保温;(4)打开TiCl<sub>4</sub>流量计,并通入载气沉积TiN涂层;(5)停止通入氮气和TiCl<sub>4</sub>,降温;(6)停止通入氢气,降至常温后出炉。
地址 214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇人民路居委红和新村100号