一种多级罗茨真空泵

摘要

本实用新型涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种多级罗茨真空泵。本实用新型包括泵体，所述泵体内部设有容置腔，容置腔设有多个隔板，隔板将容置腔分割成多个罗茨腔；所述泵体还包括转轴，转轴上套设有多个罗茨腔相配合的罗茨转子，相邻的两个罗茨转子中，位于前级罗茨腔中的罗茨转子的叶片数量少于或等于位于后级罗茨腔中的罗茨转子的叶片数量。本实用新型采用增加转子的叶片数量，来达到改变罗茨腔中可容纳气体的体积，使得多级罗茨泵的加工变得方便，降低成本。

主权项

一种多级罗茨真空泵，包括泵体，所述泵体内部设有容置腔，容置腔设有多个隔板，隔板将容置腔分割成多个罗茨腔；所述泵体还包括转轴，转轴上套设有多个罗茨腔相配合的罗茨转子，其特征在于：相邻的两个罗茨转子中，位于前级罗茨腔中的罗茨转子的叶片数量少于位于后级罗茨腔中的罗茨转子的叶片数量；所述相邻的两个罗茨转子中，位于前级罗茨腔中的罗茨转子的外径大于或等于位于后级罗茨腔中的罗茨转子的外径；所述相邻的两个罗茨腔中，前级罗茨腔的厚度大于或等于后级罗茨腔的厚度；罗茨腔的出口处设有用于控制气体流向的单向阀。