浸润液体补充装置及补充方法与具有浸润液体补充装置的晶圆切割道检测机

摘要

本发明是关于一种浸润液体补充装置及补充方法与具有浸润液体补充装置的晶圆切割道检测机。浸润液体补充装置具有壳体、盖体、透明片、薄膜及环形储槽，并利用盖体的第一管件输入浸润液体，以环形储槽的第二管件输出浸润液体。浸润液体补充方法包括有下列步骤：提供浸润液体补充装置；输入浸润液体；形成薄膜；及输出浸润液体。本发明的具有浸润液体补充装置的晶圆切割道检测机则可确保在进行晶圆切割道检测时，皆有足够的浸润液体可以形成薄膜，并可排放多余的浸润液体。

主权项

一种浸润液体补充装置，其应用于晶圆切割道检测，其特征在于该浸润液体补充装置包括：壳体，其包括有上壳部、与该上壳部相对应的下壳部及侧壳部延伸自该上壳部外缘至该下壳部外缘，其中该上壳部中央具有第一穿孔，又该下壳部中央具有第二穿孔；盖体，固定结合于该壳体，覆盖该上壳部且与该上壳部具有第一间隙，该盖体并具有第三穿孔及第一管件结合于该盖体的一边，其中该第三穿孔与该第一穿孔相贯通，该第三穿孔并大于该第一穿孔且覆盖该第一穿孔，该第一管件具有第一端口延伸至该盖体外及第二端口延伸至该第一间隙；透明片，与该上壳部固定结合并遮蔽该第一穿孔，该透明片的大小小于该第三穿孔并与该第三穿孔形成第二间隙；薄膜，由浸润液体所形成，并形成于该透明片上且覆盖该透明片；以及环形储槽，固设于该侧壳部，其具有凹陷部及第二管件，其中该盖体延伸至该凹陷部的内侧边，该第二管件并自该凹陷部的底面穿过并延伸至该环形储槽之外。