水平关节型机器人和基板传送系统

摘要

本发明涉及水平关节型机器人和基板传送系统。该水平关节型机器人包括：第一手臂和第二手臂，所述第一手臂在基端部分由所述机身支撑，能够绕着第一接合点旋转，所述第二手臂在基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑，能够绕着第二接合点旋转；叉状物，该叉状物包括由第二手臂的梢端部分所支撑的基端部分以绕着第三接合点旋转。第一手臂包括在第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，该第一增大部分的上表面被设置为比第一手臂的基端部分的上表面的高。第二手臂包括在第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，该第二增大部分的下表面被设置为比第二手臂的基端部分的下表面低。第一增大部分和第二增大部分至少横向上部分彼此交叠。

主权项

一种用于传送基板的水平关节型机器人，所述机器人包括：机身；第一手臂，所述第一手臂包括基端部分和梢端部分，所述第一手臂的基端部分由所述机身支撑为能够绕着第一接合点旋转；第二手臂，所述第二手臂包括基端部分和梢端部分，所述第二手臂的基端部分由所述第一手臂的梢端部分支撑为能够绕着第二接合点旋转；以及叉状物，所述叉状物用于把持所述基板，所述叉状物包括由所述第二手臂的梢端部分支撑为能够绕着第三接合点旋转的基端部分，其中所述第一手臂包括在所述第一手臂的梢端部分形成的第一增大部分，所述第一增大部分的上表面被设置为比所述第一手臂的基端部分的上表面高，其中所述第二手臂包括在所述第二手臂的梢端部分形成的第二增大部分，所述第二增大部分的下表面被设置为比所述第二手臂的基端部分的下表面低，并且其中所述第一增大部分和所述第二增大部分至少横向上部分彼此交叠，其中所述机器人还包括：第二手臂驱动电机，所述第二手臂驱动电机被设置在所述机身内，作为用于使所述第二手臂旋转的驱动力源；第一连接滑轮，所述第一连接滑轮容纳在所述第一手臂内并且配置为由所述第二手臂驱动电机进行旋转；第一传送带，所述第一传送带缠绕所述第一连接滑轮；第二手臂驱动减速器输入滑轮，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮配置为通过所述第一传送带与所述第一连接滑轮一起旋转；第二手臂驱动减速器，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮的旋转被输入到所述第二手臂驱动减速器；第二手臂驱动减速器输出滑轮，所述第二手臂驱动减速器输出滑轮被设置至所述第二手臂驱动减速器的输出轴；第二传送带，所述第二传送带缠绕所述第二手臂驱动减速器输出滑轮；以及第二连接滑轮，所述第二连接滑轮连接到所述第二手臂的基端部分并且配置为通过所述第二传送带与所述第二手臂驱动减速器输出滑轮一起旋转；其中，所述第二手臂驱动减速器输入滑轮、所述第二手臂驱动减速器、所述第二手臂驱动减速器输出滑轮、所述第二传送带和所述第二连接滑轮容纳在所述第一增大部分内。