梳齿电容式微加速度计

摘要

本实用新型公开了一种梳齿电容式微加速度计，包括由上至下设置的衬底层、绝缘层、结构层和基底层，绝缘层设在衬底层与结构层之间；衬底层和基底层上均设有金属引线电极。本实用新型不增加器件面积的情况下使得检测电容成倍增加，增加质量块重量，增加了设计的灵活性，能提高测量精度，且可利用干法刻蚀，尺寸控制好，工艺简单，能够实现大批量制造。

主权项

一种梳齿电容式微加速度计，其特征在于：包括由上至下设置的衬底层、绝缘层、结构层和基底层，绝缘层设在衬底层与结构层之间；衬底层和基底层上均设有金属引线电极；该衬底层上设有第一质量块、第一可动电极和第一固定电极，第一固定电极的一端通过第一锚点跟绝缘层连接，另一端为自由端，第一可动电极的一端跟第一质量块连接，另一端为自由端；第一可动电极和第一固定电极相间构成平行板电容器；该结构层上设有第二质量块、第二可动电极、第二固定电极和支撑梁，第二固定电极的一端通过第二锚点分别跟绝缘层和基底层连接，另一端为自由端；第二可动电极的一端连接到第二质量块上，另一端为自由端；支撑梁一端连接到第二质量块上，另一端通过第三锚点跟基底层连接；第二可动电极和第二固定电极相间构成平行板电容器。