电源装置

摘要

提供一种电源装置，其在有效限制与喷溅或颗粒的产生直接相关的电弧放电发生时的电流上升的同时，能够防止电弧处理结束时放电电压变得过大。本发明的电源装置E具有：直流电源部（2），其向与等离子体P接触的靶T施加直流电压；以及电弧处理部（3），其在该直流电源部的正负输出（5a、5b）上检测电极处发生的电弧放电，并且能进行该电弧放电的消弧处理。具有输出特性切换电路（6、SW2），通过电弧处理部检测得知电弧放电的发生，所述输出特性切换电路（6、SW2）为使消弧处理开始时给所述电极的输出具有恒流特性，到该消弧处理结束之前给所述电极的输出具有恒压特性，而进行所述输出的切换。

主权项

一种电源装置，具有：向与等离子体接触的电极施加直流电压的直流电源部；在该直流电源部的正负输出上检测电极处发生的电弧放电，并且能对该电弧放电的进行消弧处理的电弧处理部；其特征在于具有：输出特性切换电路，当通过所述电弧处理部检测到电弧放电发生时，所述输出特性切换电路进行输出切换，在消弧处理开始时给所述电极的输出具有恒流特性，到该消弧处理结束之前给所述电极的输出具有恒压特性。