| 摘要 |
<p>본 발명은 적어도 원료융액을 수용하는 도가니 및 상기 원료융액을 가열하는 히터를 격납하는 메인챔버와, 이 메인챔버의 상부에 연설(連設)되어 성장한 단결정이 인상되어 수용되는 인상챔버와, 상기 인상 중의 단결정을 둘러싸도록 상기 메인챔버의 적어도 천장부에서 원료융액의 표면을 향해 연신되고, 냉각매체로 강제냉각되는 냉각통을 가진 쵸크랄스키법에 의해 단결정을 육성하는 단결정 제조장치로, 적어도 상기 냉각통의 내측에 감합(嵌合)되는 냉각보조통을 가지며, 이 냉각보조통은 축방향으로 관통하는 틈을 가지며, 상기 원료융액의 표면을 향해 연신되어 있는 것을 특징으로 하는 단결정 제조장치이다. 이에 의해 성장 중의 단결정을 효율이 좋게 냉각함으로써 단결정의 성장속도의 고속화를 도모할 수 있는 단결정 제조장치가 제공된다.</p> |
