发明名称 |
工件载具;WORKPIECE CARRIER |
摘要 |
一种工件载具包含一第一平板,该第一平板具有一第一外径、一第一内径及一第一凹座,该第一凹座自该第一内径朝向该第一外径延伸达一第一距离。该工件载具进一步包含一第二平板,该第二平板具有一第二外径、一第二内径及一第二凹座,该第二凹座自该第二内径朝向该第二外径延伸达一第二距离。与该第一平板及该第二平板相关联之复数个配合特征建构成在该第一凹座及该第二凹座内于该第一平板与该第二平板之间选择性地固定一第一工件的一位置。 |
申请公布号 |
TW201448093 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
申请号 |
TW102121272 |
申请日期 |
2013.06.14 |
申请人 |
艾克塞利斯科技公司 |
发明人 |
李 威廉 戴维斯;霍特 凯文J;夏侬 大卫;毕林格 杰森 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>阎启泰</name><name>林景郁</name> |
主权项 |
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地址 |
美国 |