探针卡用之附凸块之膜片、探针卡及探针卡用之附凸块之膜片之制造方法

摘要

本发明提供一种于晶圆之试验中，以较低接触压稳定地接触晶圆之电极垫的晶圆批量测试用之探针卡。探针卡系由如下部件构成：框架板1，其具有与晶圆之半导体晶片相对应之复数个贯通穴3；配线基板23；异方性导电膜5，其具有与贯通穴3相对应之大小，且固定于框架板1之贯通穴3或贯通穴3周边；接点膜7，其具有与贯通穴3相对应之大小，且固定于框架板1之贯通穴3周边。接点膜7系由如下部件构成：绝缘膜15；导电电极19，其形成于绝缘膜15内及内面；及凸块17，其系藉由对利用将绝缘膜15半蚀刻而露出之电极体的前端侧进行镀敷而形成；且藉由异方性导电膜5之导电路11将具有尖锐前端之凸块17电性连接于配线基板23之端子。