浮动测头及使用该浮动测头之测试设备;FLOATING TEST HEAD AND TESTING EQUIPMENT USING THE SAME

摘要

本发明系关于一种浮动测头，包括：一顶板、一夹板、一气密件、一底板、复数弹性回复装置及一载板。顶板具有一连结至一气压泵之通道，通道具有贯穿顶板底部之一通孔。夹板连结于顶板底部，具有对应通孔之一容置槽。气密件容设于容置槽内，具有一与通孔相连通之贯孔，气密件界定出一包括通道、通孔及容置槽之气密空间，藉气压泵之作用使气密空间产生于纵向之气压缓冲效果。底板连结于夹板底部，而复数弹性回复装置夹设于底板与夹板间，用以容许底板与夹板间横向之偏位。载板连结于底板，且载板底部设有用以吸取一条状半导体元件之复数吸头。