用于线内良率监控的关键参数之电测试参数的自动化判定之系统及方法;SYSTEM AND METHOD FOR THE AUTOMATIC DETERMINATION OF CRITICAL PARAMETRIC ELECTRICAL TEST PARAMETERS FOR INLINE YIELD MONITORING

摘要

线内良率监控可包含使用一或多个演算法软体模组。线内良率监控可包含使用诸如一学模组及一预测模组之两个相关演算法软体模组。该学模组可从探针电测试良率及PET(参数电测试)属性值之资料学关键PET参数。该关键PET参数可最佳地将该良率资料中的离群点及内群点分开。该预测模组可使用由该学模组发现之该关键PET参数来预测一晶圆是一探针测试分类中之一内群点还是一离群点。