| 摘要 |
在此揭露了一种微机电系统(micro electro mechanical systems,MEMS)元件。该MEMS元件包括:一具有第一表面和第二表面的第一极板;以及一附接到第一基板上的锚点。该MEMS元件更包括一具有附接到该第一极板上的第三表面和第四表面的第二极板。连接机构将该锚点连接到该第一极板上,其中,在该第一极板的第一表面和第二表面之间存在一声压差情况下,该第一极板和第二极板移位。该第一极板、第二极板、连接机构和锚点全都包含在由该第一基板和一第二基板形成的一围场内,其中,该第一基板和第二基板其中之一包含一通口以使该一极板的该第一表面暴露在环境下。 |
