电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

[课题]本发明系针对在对电浆生成用高频电力和高频偏压电力进行时间调制之电浆处理装置中，提供可以稳定地供给高频偏压电力之电浆处理装置。[解决手段]本发明系一种电浆处理装置，具备：对真空容器内供给用以生成电浆之第一高频电力的第一高频电源，和对载置试料之试料台供给第二高频电力之第二高频电源，和第二高频电源之匹配器，该电浆处理装置之特征为：第一高频电力和第二高频电力被时间调制之时，匹配器取样用以在取样有效期间进行匹配之资讯，该取样有效期间系从将被时间调制之第二高频电力之导通开始时间设为开始时间之既定时间经过后，至导通结束时间为止之期间，从导通结束时间后至下一个取样有效期间，进行维持在取样有效期间被进行之匹配状态的控制。