| 主权项 |
一种振幅解调及偏振态无关之干涉式椭圆仪，其光学架构包括：一第一分光装置，用以将一线偏振光波的入射光波的光波能量，均分为讯号光波与本地振荡光波；一第一光学装置，接受该讯号光波后将光波频率略微调整，同时讯号光波的线偏振态调整为与水平轴向夹45度角，再将讯号光波斜向入射一被测试物体表面再反射；一第一光学全反射装置，用以将被测试物体表面反射的讯号光波全反射，然后再穿过一半波长相位延迟片将该讯号光波的水平线偏振光波及垂直线偏振光波旋转与水平轴向夹±45度；一第二光学全反射装置，用以将本地振荡光波引导到一第二光学装置，该第二光学装置接受该本地振荡光波后将光波频率略微调整，同时本地振荡光波的线偏振态调整为与水平轴向夹45度角；一第二分光装置，将穿过该半波长相位延迟片的讯号光波，与穿过该该第二光学装置本地振荡光波重叠并均匀分光；一第一偏振分光装置，将前述一半的光波能量的水平偏振光波导引至一第一光电感测装置，垂直偏振的光波导引至一第二光电感测装置，将光波能量转换为电子讯号；及一1/4相位延迟装置，用以将前述另一半的光波能量与1/4相位延迟装置光轴平行之线偏振光波分量之相位增加π/2，再经过一第二偏振分光装置分光后，将水平偏振光波导引至一第三电感测装置，垂直偏振的光波导引至一第四电感测装置，分别将光波能量转换为电子讯号；藉由第一、第二、第三、第四电感测装置侦测干涉讯号振幅的变化，可以提供即时椭圆参数(Ψ,△)的变化。 |
