缺陷检测及光致发光量测系统

摘要

本发明揭示一种用于一样本之缺陷侦测及光致发光量测之系统，其可包含经组态以将辐射对准至该样本之一辐射源。该系统亦可包含定位于该样本上以接收一样本辐射之一光学器件总成。该系统亦可包含经组态以接收由该光学器件总成收集的该样本辐射之一滤光器模组。该滤光器模组可将由该光学器件总成收集之该样本辐射分成一第一辐射部分及一第二辐射部分。该系统亦可包含经组态以从该滤光器模组接收该第一辐射部分之一缺陷侦测模组。该系统可进一步包含经组态以从该滤光器模组接收该第二辐射部分之一光致发光量测模组。该缺陷侦测模组及该光致发光量测模组可经组态以实质上同时接收该各自的第一辐射部分及该第二辐射部分。

主权项

一种用于一样本之缺陷侦测及光致发光量测的系统，其包括：一辐射源，其经组态以将辐射对准至该样本；一光学器件总成，其定位于该样本上以接收一样本辐射，该样本辐射系由该样本反射、由该样本散射或自该样本辐射之至少一者的辐射，该光学器件总成经组态以收集该样本辐射；一滤光器模组，其经组态以接收由该光学器件总成收集的该样本辐射，该滤光器模组将由该光学器件总成收集之该样本辐射分成一第一辐射部分及一第二辐射部分；一缺陷侦测模组，其经组态以从该滤光器模组接收该第一辐射部分，该缺陷侦测模组经组态以利用该第一辐射部分侦测该样本之至少一缺陷；及一光致发光量测模组，其经组态以从该滤光器模组接收该第二辐射部分，该缺陷侦测模组及该光致发光量测模组经组态以实质上同时接收该各自的第一辐射部分及该第二辐射部分，该光致发光量测模组包含一光谱仪，该光谱仪经组态以利用该第二辐射部分侦测该样本之一局部光致发光光谱，该光致发光量测模组经组态以基于该经侦测之局部光致发光光谱以提供一光致发光映射。