上部表面および下部表面を備える基板、光起電力デバイス、ナノ粒子および方法

摘要

【課題】金属ナノ球体およびマイクロ球体を形成すること。【解決手段】半球体（１８）および球体（２８）が形成され、複数の用途に用いられる。半球体（１８）は、上部表面および下部表面を有する基板（１２）を形成するために用いられる。上部表面は、下部表面に取り付けられた基部を有するピラー（１０）の尖端部を含む。尖端部は、ピラーの形成中に基板材料を下部表面まで除去するために、エッチング中にマスクとして働く半球の金属構造体（１８）のアレイによって上部表面に画成される密度を有する。ピラーは、密で均一でありマイクロスケールの平均直径を含む。球体は、他の用途向けの独立した金属球体またはナノ粒子として形成される。【選択図】図５