| 摘要 |
<p>기판상에 제 1 층을 형성하고, 제 1 층상에 광 흡수층을 형성하고, 광 흡수층상에 투광성을 갖는 층을 형성하고, 투광성을 갖는 층측으로부터 광 흡수층에 선택적으로 레이저 빔을 조사한다. 광 흡수층이 레이저 빔의 에너지를 흡수하는 것으로, 광 흡수층 내에서의 기체의 방출, 광 흡수층의 승화 또는 증발 등에 의해, 광 흡수층의 일부 및 광 흡수층에 접하는 투광성을 갖는 층의 일부를 제거한다. 잔존하는 투광성을 갖는 층 또는 광 흡수층을 마스크로서 사용하여, 제 1 층을 에칭함으로써, 종래의 포토리소그래피 기술을 사용하지 않아도, 제 1 층을 원하는 장소에서 원하는 형상으로 가공할 수 있다.</p> |
