| 摘要 |
<p>본 발명은, 복수의 홈 롤러에 권취되어 축방향으로 왕복 주행하는 와이어와, 슬러리를 공급하는 노즐과 워크를 보관 유지하면서 와이어에 보내는 워크 전송 기구를 구비하며, 노즐로부터 와이어에 슬러리를 공급하면서, 워크를 왕복 주행하는 와이어에 가압하여 보내고, 웨이퍼 형상으로 절단하는 와이어 쏘 장치에 있어서, 워크 전송 기구의 워크 보관 유지부는, 워크에 접착되어 있는 덧댐 판과 워크 플레이트를 거쳐 워크를 보관 유지하는 것이고, 워크의 와이어의 절입부로부터 비산하는 슬러리를 막기 위한 판 형상 또는 블록 형상의 슬러리 비산 방지 부재가, 워크 보관 유지부의 하부, 한편 와이어가 워크에 절입하는 측과 자르는 측의 양측에, 와이어 열과 직행 방향으로 배치된 것인 와이어 쏘 장치를 제공한다. 이에 의해, 워크의 와이어의 절입부로부터 비산하는 슬러리를 원인으로서 워크가 벨로우즈 운동하는 것을 억제하여, 절단된 웨이퍼의 와프를 개선하는 것이 가능한 와이어 쏘 장치가 제공된다.</p> |
