一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法

摘要

本发明公开了一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法，包括使用数据处理客户端和服务器端进行共同处理、缓存中间数据以适应数据处理速度和平台运动速度差异、在数据处理中设置存储区池和处理流水线进行版图数据处理几步。本发明提高了扫描式无掩膜光刻机的数据处理效率，解决了由于CPU和内存处于满负荷运行仍然反应迟钝而导致数据处理实时性无法满足扫描式光刻设备要求的问题，提高了图像数据处理的准确度。

主权项

一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法，其特征在于：包括以下步骤： （1）使用客户端和服务器端共同进行数据处理：客户端负责输入版图文件，对版图文件进行解析、提取，将提取的矢量信息通过网络发送到服务器端；服务器端负责图形图像处理工作，包括栅格化、拼接、格式化转换；客户端和服务器端通过网络进行数据通信和操作上的同步；（2）在服务器端，对于要处理的版图，以扫描过程中的一个条带为单位设置缓冲区，将每次处理得到的空间光调制器可接收的数据先缓存起来，等到一个条带的数据全部缓存完毕，一次性发送到空间光调制器的内存中去，平台扫描运动时空间光调制器只需从已经处理好的数据中取数据即可，使光刻设备的平台开始一个条带的匀速扫描运动，最终将扫描数据曝光到光敏感的介质上；所述服务器端使用存储区池和处理流水线进行版图数据处理，即：在处理之前首先分配若干个存储区，组成存储区池和处理流水线，每个存储区足够处理一个图形区域使用，每个存储区都有“空闲”和“使用中”两个状态，当有一个图形区域需要处理时从空闲的存储区中取出一个供使用，放到处理流水线上进行处理，同时将其状态设置为“使用中”，在处理流水线上处理完成时再将该存储区的状态设置为“空闲”，以便提供给其他的图形区域处理使用；对于版图中包含有大阵列的情况，先对版图中的阵列进行预处理，并在服务器端保存阵列处理结果，实际扫描曝光提取数据时，只记录要提取区域和版图阵列的交叠区的大小和位置，最后从服务器端事先保存的阵列处理结果中将交叠区的数据取出来合并即可；所述的大阵列是指于版图中单位面积的矢量数据密集，每平方微米达到上百个点的版图。