| 发明名称 | 硼扩散用炉管的清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硼扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1）按体积比75:1~1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中携带有纯水蒸气；2）停止通入氮气和携源氮气，完成清洗。应用本发明的技术方案，在不改变炉管结构的情况下，采用纯水蒸气对炉管进行清洗。因为BSG（硼硅玻璃）极易溶于水，因此采用纯水蒸气很容易就可以将炉管清洗干净，清洗过程中产生废物可以随尾气管排出。总之，本发明的技术方案简单实用，不必更改设备结构，就能达到清洗炉管，提高扩散质量，延长石英器件寿命的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN102784775B | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201210303447.7 | 申请日期 | 2012.08.23 |
| 申请人 | 英利能源（中国）有限公司 | 发明人 | 崔景光;刘旭;寇继成;王海亮 |
| 分类号 | B08B9/027(2006.01)I | 主分类号 | B08B9/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 吴贵明;余刚 |
| 主权项 | 一种硼扩散用炉管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按体积比75:1～1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，所述携源氮气中携带有纯水蒸气；2)停止通入所述氮气和携源氮气，完成清洗；所述步骤1)包括：将所述炉管内的温度升至860～960℃，将携带有纯水蒸气的携源氮气通入所述炉管对所述炉管进行清洗。 | ||
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||