发明名称 一种流量测量工具
摘要 本实用新型提供一种流量测量工具,所述流量测量工具包括测量槽、插板、盖体、卡扣、密封圈、凹槽和卡口凸起。所述测量槽采用塑料材质,大大减轻了其本身的重量,且可视性强;将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分,且两部分侧板上均设有刻度,可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度,可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异,通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的,大大简化了操作步骤,且提高了测量的精确度;将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用,测量读数时,可以将密封好的测量槽竖立起来读数,进一步提高了测量的精确度。
申请公布号 CN204007749U 申请公布日期 2014.12.10
申请号 CN201420470378.3 申请日期 2014.08.20
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 邹迎庆;阮春军
分类号 G01F11/00(2006.01)I;G03F7/32(2006.01)I 主分类号 G01F11/00(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 李仪萍
主权项 一种流量测量工具,适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量,所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置,所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴,其特征在于,至少包括:测量槽和插板;所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板,所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接;所述插板固定于所述第一侧板的中部,将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分;所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。
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