一种激光多点聚焦加工系统

摘要

一种激光多点聚焦加工系统，结构为：激光器、扩束镜、导光镜、聚焦透镜和第一、第二全反射镜依次位于同一光路上，第一全反射镜为中间开有小孔的球面或非球面镜，其曲率半径小于二个全反射镜之间最小距离的一半；工作时，第一全反射镜凹面向xy两维工作台，其光轴与激光光轴重合；小孔的中心与激光光轴重合；聚焦透镜的位置上、下可调，二个全反射镜之间的距离可调。该系统可以将激光入射到透明材料的单聚焦点转换成同光轴多聚焦点，提高被切割分离的透明脆性材料沿厚度方向上激光能吸收的均匀性，从而使透明材料沿厚度方向上受热均匀增强，沿厚度方向产生的应力差别将急剧减小，实现激光对透明脆性材料高质量、高效率、高成功率地切割分离。

主权项

一种激光多点聚焦加工系统，其特征在于，该系统包括激光器(1)、扩束镜(2)、导光镜(3)、聚焦透镜(4)、第一全反射镜(6)、第二全反射镜(10)和xy两维工作台(12)；激光器(1)、扩束镜(2)、导光镜(3)和聚焦透镜(4)依次位于同一光路上，第一全反射镜(6)、第二全反射镜(10)依次位于聚焦透镜(4)与xy两维工作台(12)之间，第一全反射镜(6)为中间开有小孔(5)的球面或非球面全反射镜，第一全反射镜(6)曲率半径小于第一全反射镜和第二全反射镜之间最小距离的一半；工作时，第一全反射镜(6)凹面向xy两维工作台(12)，第一全反射镜的光轴与激光光轴重合；小孔(5)的中心与激光光轴重合；聚焦透镜(4)的位置上、下可调，第一全反射镜(6)与第二全反射镜(10)之间的距离可调，待加工透明材料(13)安装在第一全反射镜(6)和第二全反射镜(10)之间；第二全反射镜(10)为平面或球面或非球面镜，其曲率半径大于第一焦点到第二全反射镜(10)距离一半，第一全反射镜(6)的曲率半径小于第一全反射镜(6)和第二反射镜(10)之间最小距离的一半。