多参数离子传感器、传感器芯片和监测系统

摘要

本实用新型涉及多参数离子检测技术领域，公开了一种多参数离子传感器、传感器芯片和监测系统。该传感器包括：多个由成对的离子敏场效应晶体管组合的互补对结构；其中，每个互补对结构中成对的离子敏场效应晶体管共用一个参比电极；所述成对的离子敏场效应晶体管中的一个设有的敏感膜作为指示晶体管，另一个设有非活性膜作为参比晶体管；多个互补对结构中的敏感膜不同。本实用新型可同时实时采集多种盐离子浓度，具有体积小、灵敏度高、响应快、微型化、易集成的优点，可以很容易与外电路匹配，实现在线控制和实时监测，做成微型分析仪器和离子探针，成本低廉，适合批量生产，可广泛用于农业医疗化工环保军事等领域。

主权项

一种多参数离子传感器，其特征在于，所述传感器包括：多个由成对的离子敏场效应晶体管组合的互补对结构；其中， 每个互补对结构中成对的离子敏场效应晶体管共用一个参比电极； 所述成对的离子敏场效应晶体管中的一个设有的敏感膜作为指示晶体管，另一个设有非活性膜作为参比晶体管； 多个互补对结构中的敏感膜不同。