一种重离子微孔膜蚀刻装置

摘要

本发明公开了一种重离子微孔膜蚀刻装置，包括依次设置的放卷装置、蚀刻箱、清洗箱、烘干箱和收卷装置以及用于重离子微孔膜蚀刻装置的控制系统；其中，所述控制系统包括PLC控制系统和与所述PLC控制系统电连接的HMI人机交互装置。本发明提供的重离子微孔膜蚀刻装置，结构新颖、性能稳定、自动化控制程度更高，生产出的蚀刻膜质量更好。

主权项

一种重离子微孔膜蚀刻装置，其特征在于，包括依次设置的放卷装置(101)、蚀刻箱(102)、清洗箱(105)、烘干箱(106)和收卷装置(109)以及用于重离子微孔膜蚀刻装置的控制系统；其中，所述控制系统包括PLC控制系统和与所述PLC控制系统电连接的HMI人机交互装置；所述蚀刻箱(102)包括箱本体、以及设置在箱本体内的轴支撑装置；所述轴支撑装置的顶部固定有多个传动轴(104A)，所述轴支撑装置的底部固定有多个随动轴(104E)；所述传动轴(104A)与所述随动轴(104E)一一对应间隔铺设；所述轴支撑装置上还固定有加热器(104D)，所述加热器(104D)均匀间隔铺设在所述蚀刻箱(102)内的所述轴支撑装置的立体空间上；所述加热器(104D)的外表面还套装有绝缘软管；所述蚀刻箱(102)的侧壁上设置有控制速度的蚀刻伺服电机(110)、蚀刻伺服电机(111)；所述清洗箱(105)的侧壁上设有控制张力的清洗伺服电机(112)；所述烘干箱(106)的侧壁上设有控制张力的烘干伺服电机(113)；所述收卷装置(109)上设置有收卷伺服电机(114)；所述收卷装置(109)与烘干箱(106)之间还设置有张力传感器(107)和纠偏传感器(108)，蚀刻箱输出端设有张力传感器(102A)，清洗箱输出端设有张力传感器(105D)；所述张力传感器(107)、张力传感器(102A)、张力传感器(105D)用于检测蚀刻膜的张力值，并发送检测信号；所述纠偏传感器(108)用于检测蚀刻膜边缘位置，并发送纠偏信号；所述收卷装置(109)还设置有纠偏驱动装置；所述纠偏驱动装置用于牵引收卷辊的沿水平方向左右平移；所述PLC控制系统，用于接收所述张力传感器(107)、张力传感器(102A)、张力传感器(105D)发送的检测信号，解析蚀刻膜的张力值，并判断张力值与张力阈值范围的关系；若大于张力阈值范围，则向清洗箱的清洗伺服电机(112)、烘干箱的烘干伺服电机(113)、收卷装置上的收卷伺服电机(114)发送控制指令，通过调节上述多个伺服电机的转矩以降低蚀刻膜的张力；若小于张力阈值范围，则向清洗箱上的清洗伺服电机(112)、烘干箱上的烘干伺服电机(113)、收卷装置上的收卷伺服电机(114)发送控制指令，通过调节各个伺服电机的转矩以增加蚀刻膜的张力；若处于张力阈值范围，则维持当前操作；所述PLC控制系统，用于接收所述纠偏传感器(108)发送的纠偏信号，解析蚀刻膜的偏离方向和偏离值；根据偏离方向和偏离值，控制所述纠偏驱动装置执行牵引收卷辊的沿水平方向左右平移的操作；所述PLC控制系统，还用于分别独立控制每台伺服电机的工作方式和转速；所述HMI人机交互装置，用于显示张力传感器的蚀刻膜的张力值，显示纠偏传感器(108)检测的偏离方向和偏离值以及每台伺服电机的当前工作方式和转速。