一种具有嵌入式扩展电极的红外发光二极管制作方法

摘要

本发明公开一种具有嵌入式扩展电极的红外发光二极管制作方法，在外延衬底上依次形成腐蚀截止层、粗化层、欧姆接触层、第一型电流扩展层、第一型限制层、有源层、第二型限制层、第二型电流扩展层；在第二型电流扩展层上蒸镀形成金属反射镜层；将金属反射层键合在基板上；去除外延衬底、腐蚀截止层，露出粗化层；在粗化层表面形成扩展电极图形的沟槽，沟槽深度至露出欧姆接触层；在沟槽内蒸镀金属材料形成扩展电极；在粗化层表面制作焊盘电极，且焊盘电极与扩展电极连接相通；在基板背面蒸镀背电极，去除焊盘电极、扩展电极的保护层，裂片后得到。本发明可以提高扩展电极的可靠性，且获得更好电流扩展效果，提高红外发光二极管的发光效率。

主权项

一种具有嵌入式扩展电极的红外发光二极管制作方法，其特征在于，包括以下步骤：一，在外延衬底上自下而上依次形成腐蚀截止层、粗化层、欧姆接触层、第一型电流扩展层、第一型限制层、有源层、第二型限制层、第二型电流扩展层；二，在第二型电流扩展层上蒸镀金属反射镜，形成金属反射层；三，将金属反射镜的表面键合在具有导电性的基板上；四，采用湿法腐蚀分别去除外延衬底、腐蚀截止层，露出粗化层；五，采用掩膜、光刻工艺在粗化层上形成扩展电极的图形，采用湿法腐蚀去除粗化层的扩展电极的图形区域，在粗化层表面形成扩展电极图形的沟槽，沟槽深度至露出欧姆接触层；六，在沟槽内蒸镀金属材料形成扩展电极；七，采用掩膜、光刻、蒸镀工艺在粗化层表面制作焊盘电极，且焊盘电极与扩展电极连接相通；八，在扩展电极和焊盘电极区域形成保护层，去除粗化区域的保护层；九，采用粗化液蚀刻粗化层的显露区域的表面，形成表面粗化形貌；十，在基板背面蒸镀背电极，去除焊盘电极、扩展电极的保护层，裂片后得到具有嵌入式扩展电极的红外发光二极管。