一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法

摘要

本发明涉及一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法，以来自氟碳烷烃生产装置的盐酸为原料，在指定的亚沸蒸馏装置中进行膜式蒸馏操作，控制预热温度、加热温度、冷凝温度以及循环流量等工艺参数，制备浓度大于35.0%，金属离子含量小于1ppb的高纯盐酸，其金属离子的指标满足国际半导体设备与材料组织（SEMI）提出的Semi-C8标准。本发明可以解决超净高纯盐酸中金属离子去除这一问题，同时有效提高蒸馏速率。

主权项

一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法，其特征在于：所述亚沸蒸馏方法为将来自氟碳烷烃生产装置的盐酸经过预热器预热后进入蒸馏器，在所述蒸馏器中进行降膜式蒸发，蒸发后的蒸汽在所述蒸馏器内经冷凝后收集得到高纯盐酸，未被蒸发的液体通过循环泵泵入到所述预热器中，其中，所述蒸馏器包括具有加热夹套的釜体、设置在所述釜体顶部的封头、设置在所述釜体内的用于冷凝所述蒸汽的冷凝器、设置在所述釜体内并位于所述冷凝器下方的集液器及靠近所述釜体内侧壁设置的布膜器，所述布膜器上靠近所述釜体内侧壁的一侧开设有多个出料孔，所述预热器的物料进入到所述布膜器内，再经过所述出料孔喷射到所述釜体内侧壁成膜流下；所述高纯盐酸的浓度大于35.0%，所述高纯盐酸中金属离子含量小于1ppb，所述预热器的预热温度为55~65℃；所述蒸馏器的加热温度为65~75℃。