| 发明名称 | 等离子体源离子束混合注入对金属表面改性的方法 | ||
| 摘要 | 一种等离子体源离子束混合注入对金属表面改性的方法，包括如下步骤：1)先将试样进行氮离子的预注入；2)在氩气中进行钛溅射；3)使用等离子体源离子注入进行氮离子注入；4)重复步骤1)-3)2次以上。经本发明方法处理后的金属表面平滑，硬度和耐磨性得到了极大的提高。 | ||
| 申请公布号 | CN104195521A | 申请公布日期 | 2014.12.10 |
| 申请号 | CN201410472657.8 | 申请日期 | 2014.09.16 |
| 申请人 | 朱忠良 | 发明人 | 朱忠良 |
| 分类号 | C23C14/48(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/48(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 潘登 |
| 主权项 | 一种等离子体源离子束混合注入对金属表面改性的方法，包括如下步骤：1)先将试样进行氮离子的预注入；2)在氩气中进行钛溅射；3)使用等离子体源离子注入进行氮离子注入；4)重复步骤1)‑3)2次以上。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇人民路居委红和新村100号 | ||