一种对反应室中的溶液成分进行监测的系统

摘要

本实用新型公开的一种对反应室中的溶液成分进行监测的系统，包括：反应室的进液口和出液口通过一第一循环管道相连通，且第一循环管道上按反应室溶液流出到流入的顺序依次设置有第一水泵、三通阀、第一过滤器；该系统还包括，单向管道、气动阀、样品容器、开关控制器以及一溶液监测器；单向管道一端通过三通阀与第一循环管道相连通，另一端与样品容器相连通；气动阀设置于单向管道上，样品容器通过开关控制器控制气动阀的开启与关闭状态，以调节样品容器中溶液的液位；通过该系统可以快速地发现半导体制备工艺出现的铜阳极反应室溶液中渗漏进有机添加剂的问题，进而能够及时地解决问题，节约了生产成本。

主权项

一种对反应室中的溶液成分进行监测的系统，其特征在于，所述反应室的进液口和出液口通过一第一循环管道相连通，且该第一循环管道上按所述反应室溶液流出到流入的顺序依次设置有第一水泵、三通阀、第一过滤器；所述系统还包括，单向管道、气动阀、样品容器、开关控制器以及一溶液监测器； 所述单向管道一端通过所述三通阀与所述第一循环管道相连通，另一端与所述样品容器相连通； 所述气动阀设置于所述单向管道上，所述样品容器通过所述开关控制器控制所述气动阀的开启与关闭状态，以调节所述样品容器中溶液的液位； 所述溶液监测器监测所述样品容器中溶液的成分。