ALUMINIUM OXIDE THIN FILM CONTAINING Ta

摘要

본 발명은 산화 알루미늄의 대체막으로서 유용하고, 산화 알루미늄에 비해 성막 속도가 높아, 생산성이 우수한 신규의 기술을 제공한다. 본 발명의 산화 알루미늄 박막은, Ta를 함유하는 것에 특징이 있다. 상기 산화 알루미늄 박막은, 스퍼터링법에 의해 성막되는 것이 바람직하다.