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<p>세라믹 히터 소자(10)는, 절연 기체(101)와, 이 절연 기체(101)에 매설되는 발열 저항체(102)를 가진다. 절연 기체(101)는 β-사이알론 또는β-사이알론과 α-사이알론의 혼합상 사이알론을 주상으로 하며, 희토류 원소를 함유하는 입계상과, Cr, W, Mo, V 및 Fe 중에서 선택되는 적어도 1종의 규화물을 가진다. 발열 저항체(102)는 Mo의 규화물, 질화물 및 탄화물, 및 W의 규화물, 질화물 및 탄화물 중에서 선택되는 적어도 1종으로 이루어지는 도전성 화합물을 주상으로 하며,β-사이알론 또는β-사이알론과 α-사이알론의 혼합상 사이알론과, 희토류 원소를 함유하는 입계상을 가진다.</p> |
