摘要 |
5次のエネルギー当たり時間集束を提供する静電イオンミラーが開示されている。改善されたイオンミラーは、100,000を上回る分解パワーで18%までのエネルギーアクセプタンスを有している。イオンミラーパラメータ(電極の形状、長さ、及び電圧)の多様なセットが開示されている。高度に等時性の場が、少なくとも3つの電極からのイオン転回領域内への改善された(10%を上回る)電位浸透を用いて形成されている。その様なミラーの交差項空間−エネルギー飛行時間収差は、引き寄せ電位を有する電極の引き伸ばしによって、又は引き寄せ電位を有する第2の電極を追加することによって、更に改善される。【選択図】図3A |