低浓度臭氧标准气体发生装置

摘要

本实用新型涉及低浓度臭氧标准气体发生装置，包括零空气入口，零空气入口分别连接第一稳压阀与第二稳压阀，其中第二稳压阀通过气管连接排气口，第一稳压阀连接臭氧发生器，臭氧发生器连接气体混合仓，气体混合仓分别连接第一电磁阀与第二电磁阀；第二稳压阀分别连接第一电磁阀与第二电磁阀，第一电磁阀连接第一检定校准装置，第一检定校准装置连接第一流量计，第二电磁阀连接第二检定校准装置，第二检定校准装置连接第二流量计，第一流量计与第二流量计均连接气泵，气泵连接标准气口。本实用新型的有益效果为：本装置在50ppb到1000ppb的浓度范围内可任意设定臭氧气体浓度，并输出准确、稳定的臭氧标准气体，该装置能够用于对臭氧分析仪器的检定和校准。

主权项

一种低浓度臭氧标准气体发生装置，包括与外气源连接的零空气入口，其特征在于：所述零空气入口通过三通阀分别连接第一稳压阀与第二稳压阀，其中第二稳压阀通过气管连接第一排气口，所述第一稳压阀通过气管连接臭氧发生器，所述臭氧发生器通过气管连接气体混合仓，所述气体混合仓通过气管分别连接第二排气口与第一标准气口，所述气体混合仓通过三通阀分别连接第一电磁阀与第二电磁阀；所述第二稳压阀通过三通阀分别连接第一电磁阀与第二电磁阀，所述第一电磁阀通过气管连接第一检定校准装置，所述第一检定校准装置通过气管连接第一流量计，所述第二电磁阀通过气管连接第二检定校准装置，所述第二检定校准装置通过气管连接第二流量计，所述第一流量计与第二流量计均连接气泵，所述气泵通过气管连接第二标准气口。